フレキシブル高分子上への機能性酸化物エピタキシャル薄膜作製

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22760013
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用物性・結晶工学
• 研究機関: 近畿大学
• 研究代表者: 西川 博昭 近畿大学, 生物理工学部, 准教授 (50309267)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2011
• キーワード: エピタキシャル成長 / フレキシブルデバイス

研究概要

本研究では圧電体や強誘電体など機能酸化物のエピタキシャル薄膜を高分子製フレキシブル基板上に形成するための基礎を確立することを目的とする。高分子製フレキシブル基板は耐熱1生に乏しく、機能性酸化物をエピタキシャル成長させるために必要な数100℃以上の加熱に耐えることができないため、耐熱性に優れるMgO基板上に良質の薄膜を作製したのち、これを高分子製フレキシブル基板に接着してからMgO基板を除去するという新しい作製プロセスを提案し、遷移金属酸化物のエピタキシャル薄膜をフレキシブル化するための基礎を確立した。

研究成果

• [学会発表] エピタキシャル成長したフレキシブル機能性酸化物薄膜の作製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森田祐輔、楠正暢、本津茂樹、西川博昭
  • 学会等名: 平成23年電気関係学会関西支部連合会
  • 発表場所: 兵庫県立大学(兵庫県姫路市)
  • 年月日: 2011-10-30
• [学会発表] Transfer of epitaxial SrTiO_3 thin film to flexible polymer sheet by decal process (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Nishikawa, Y. Morita, M. Kusunoki, S. Hontsu
  • 学会等名: The 18th International Workshop on Oxide Electronics
  • 発表場所: ナパバレーマリオットホットホテルアンドスパ(ナパバレー、アメリカ)
  • 年月日: 2011-09-27
• [学会発表] エピタキシャル成長した機能性酸化物薄膜を用いたフレキシブルデバイス (2011)
  • 著者名/発表者名: 森田祐輔、楠正暢、本津茂樹、西川博昭
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学(山形県山形市)
  • 年月日: 2011-08-30
• [学会発表] Epitaxial Pb(Zr_<0.52> Ti_<0.48>) 0_3Thin Film on Flexible Polymer Material and its Piezoelectric Property for Huge Bending Stress (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Nishikawa, Y. Morita, M. Kusunoki, S. Hontsu
  • 学会等名: The 17th International Workshop on Oxide Electronics
  • 発表場所: 淡路夢舞台国際会議場(兵庫県淡路市)
  • 年月日: 2010-09-21