研究課題
若手研究(B)
精密超音波計測による酸化亜鉛のバルク単結晶および薄膜の評価法についての基礎を構築した。高精度に音響関連物理定数を決定したバルク単結晶を標準試料として用いて、薄膜の評価を行う手法を開発した。異方性を考慮した抵抗率の評価を行うために、一方の抵抗率のみが関与する超音波の伝搬モードと二つの抵抗率が関与する伝搬モードの位相速度および伝搬減衰を計測することでそれらを決定する手法を開発した。
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