• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2023 年度 研究成果報告書

水による金属ナノポーラス構造の作製とそのケミカルセンサへの応用

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 22K14213
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関東北大学

研究代表者

山田 駿介  東北大学, 工学研究科, 助教 (50811634)

研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2024-03-31
キーワードナノマテリアル / トランジスタ / ケミカルセンサ / 生分解性
研究成果の概要

本研究ではDealloyに関して「合金の作製方法」と「金属の選択的エッチング」に注目し、任意の金属・合金をナノポーラス化して、ケミカルセンサの特性改善に挑戦した。具体的には、合金の作製にスパッタを使用することで、金属の組成・膜厚を精密に制御し、ナノポーラス構造の時空間制御を実現した。また、スパッタリングにより成膜したZnO膜を用いて半導体を作製して、その電気特性を評価した。上記ナノポーラス構造をTFTのゲート電極に作製することに挑戦した。その結果ナノポーラス構造は作製できたが、ZnOが溶解してダメージを受けることが判明した。現在作製プロセスを改善し、ZnOを溶解しない方法を検討している。

自由記述の分野

MEMS

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究では、Dealloyに関して「合金の作製方法」と「金属の選択的エッチング」に注目し、申請者が見出した世界初の手法を確立することで、任意の金属・合金をナノポーラス化して、ケミカルセンサの特性改善を目的としている。本手法は、プロセス時間・温度の観点から実用性が高いだけでなく、学術的な独自性が高いと考えている。すなわち、従来手法ではナノポーラス化できない標準電極電位が低い金属(Mn, Zn, V)のナノポーラス材料を作製できる。本研究では、ナノポーラス構造の構造制御とケミカルセンサへの応用を実現し、遠隔治療技術の発展に寄与することが期待できる。

URL: 

公開日: 2025-01-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi