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今日、可視光だけでなく紫外線の領域でもLEDや受光素子など半導体素子への期待は大きい。しかし、紫外に使う半導体材料の光学的な性質を知るには、紫外線でもエネルギーの高い真空紫外光(VUV)の領域まで調べることが必要である。そこで材料の基本的な光学的定数である複素屈折率をVUVでも絶対測定できる世界でも珍しいエリプソメータを、理想的な紫外光源であるシンクロトロン放射光の研究施設で運用することを目標にそれに適したエリプソ装置の開発を行った。その結果、測定システムの構築にほぼ目処を付けることが出来るところまで達した。
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