|
本研究では、有機材料を全く使用しない新規な高耐熱フレキシブル無機薄膜EL デバイスの実現をゴールとして、材料技術及び作製プロセス技術の開発を行った。光を殆ど吸収しない透光性フレキシブルジルコニア系セラミックシートを基板として採用する高耐熱フレキシブル薄膜EL素子及び極薄ガラスシートを基板として採用する高耐熱シースルーフレキシブル無機薄膜EL素子を作製し、適合する酸化物蛍光体材料、絶縁層材料及び透明電極材料の開発及びフレキシブル基板上への薄膜形成技術、積層技術及び熱処理技術等のデバイス作製技術を確立した。その結果、オール無機材料からなる高耐熱シースルーフレキシブル薄膜ＥＬ素子を実現できた。
|
