| 研究課題/領域番号 |
23710126
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノ材料・ナノバイオサイエンス
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
二宮 啓 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 特任助教 (10402976)
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| 研究協力者 |
平岡 賢三 山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 特任教授 (80107218)
境 悠治 山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 研究員 (10594103)
チェン リーチュイン 山梨大学, 大学院医学工学総合研究部, 特任助教 (40585577)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| キーワード | 質量分析 / 深さ方向分析 / 帯電液滴 / エッチング |
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| 研究概要 |
本研究では帯電液滴ビームをプローブとして利用することによりナノメートルオーダーの深さ方向分解能を有する深さ方向分析システムの構築を行った。装置開発として帯電液滴ビームソースの改良、対物レンズやビームスキャン電極の設置、深さ方向分析用自動測定プログラムの作成を行った。これらの装置開発を進めた上で、ポリマーや酸化物などの実用に近い薄膜試料において実際に帯電液滴をプローブとする深さ方向分析を実施した。
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