2013 年度研究成果報告書

高速オートフォーカス機構を用いた高信頼超短光パルスマイクロ接合システムの開発

研究課題

研究課題/領域番号	23760124
研究種目	若手研究(B)
配分区分	基金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	奈良工業高等専門学校
研究代表者	玉木隆幸奈良工業高等専門学校, 電子制御工学科, 講師 (80455154)
研究期間 (年度)	2011 – 2013
キーワード	マイクロ接合 / 超短光パルス / フェムト秒レーザー / オートフォーカス / コントラスト法 / FPGA / 微細加工
研究概要	本研究では、超短光パルスマイクロ接合法にオートフォーカス機構を組み込み、被接合材料の境界面高さに応じて集光点位置をリアルタイムに自動調整可能な接合システムを開発した。本システムを用いれば、確実に境界面のみを溶融させることができ、安定性、信頼性、品質性の観点から高度化した接合技術の確立が可能である。さらに、構築されるオートフォーカス機構は生産加工分野における要素技術となるため、穴加工、溝加工をはじめとする多くの微細加工分野への展開が可能であり、三次元微細構造の形成技術に応用できる。

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