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2014 年度 研究成果報告書

巨大電界効果を利用した可変面積電極の提案と可変容量キャパシタへの展開

研究課題

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研究課題/領域番号 24360119
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関北陸先端科学技術大学院大学

研究代表者

徳光 永輔  北陸先端科学技術大学院大学, グリーンデバイス研究センター, 教授 (10197882)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード薄膜トランジスタ / 可変容量キャパシタ / 強誘電体 / 高誘電率材料 / 酸化物半導体
研究成果の概要

本研究の目的は、大きな電荷密度を誘起できる強誘電体または高誘電率材料を用いて、面積を可変できる酸化物伝導体の電極構造を提案し、これを利用して集積化可能な小型・高性能の可変容量キャパシタを実現することである。本研究では、まず提案する素子を実現するための強誘電体(Bi,La)4Ti3O12(BLT)膜形成条件の最適化と溶液プロセスによる高誘電率材料の探索を実施した。次にITOまたはIn2O3をチャネルに用いた薄膜トランジスタ型の素子を試作して動作検証を行い、約1500%のゲート電圧による容量変化を実現した。さらに素子のスイッチング特性の改善およびナノインプリントを用いた素子の微細化を実施した。

自由記述の分野

固体電子工学

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公開日: 2016-06-03  

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