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アルミナなどのセラミックスのスラリーに湿式のビーズミル処理と高圧ジェットミル処理を行い、これらを複合化することでそれぞれ単独では困難であった細かな微細化処理を行うことができた。高圧ジェットミルには、微細化に加えて粒子形態を制御する効果があった。この処理粒子を焼結膜などに応用した場合、充填率が向上し低い温度で緻密な焼結ができ、作製した材料の機械的特性と摩耗特性が向上した。その微細化現象の解明につながる計測手法を開発し、装置の改良方法を示した。この処理で作製されたαアルミナ微粒子を反応性ガスフロースパッタで作製されたアルミナ膜のシード層に応用した場合の効果を調べ、この処理方法の有効性を示した。
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