研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究では、人の触覚受容器の構造を規範とした、幅広いダイナミックレンジを持つMEMS触覚センサの研究開発を行った。シリコーンオイル中にピエゾ抵抗カンチレバーを封止した触覚センサは、力に対して微分的な応答を示し、微小な力の変動成分を高感度に検出することができた。ピラミッド構造やバンプ形状を持つ触覚センサでは、小さな力では高感度、大きな力に対しては低感度という特性を示した。これらの特性は人の触覚の特性と同様であり、力検出のダイナミックレンジの拡大に有効である。
マイクロシステム
