2012 年度研究成果報告書

超臨界流体イオンビームを用いた新しい材料表面処理/加工テクノロジーの開発

研究課題

研究課題/領域番号	24656436
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	材料加工・処理
研究機関	東京大学
研究代表者	寺嶋和夫東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
研究期間 (年度)	2012
キーワード	プラズマ処理 / レーザー加工 / イオンビーム / 超臨界イオンビーム / 超臨界流体プラズマ / 材料表面加工
研究概要	本研究では、超臨界流体イオン(イオンビーム)の創製、イオン源であるプラズマの分光学的診断、及び、その材料表面処理/加工プロセスへの応用を行った。また、そのプロセスの低温性、環境親和性などの実証を行った。その結果、そのトータルとしての革新的なハイパフォーマンス材料表面加工テクノロジーの可能性を示した。