2014 年度研究成果報告書

圧電結晶の活性表面と弾性表面波の超長距離伝搬を利用した高感度極性ガスセンサ

研究課題

研究課題/領域番号	24686013
研究種目	若手研究(A)
配分区分	一部基金
研究分野	応用物理学一般
研究機関	東北大学
研究代表者	辻俊宏東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (70374965)
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード	圧電結晶 / 弾性表面波 / ボールSAWセンサ / 加工変質層 / 非晶質シリカ / 紫外線照射 / 微量水分 / 温度補償
研究成果の概要	圧電結晶の活性表面は極性ガスを検出するための弾性表面波センサの感応膜として用いると、低減衰であるために、感度の向上に有用であると考えられる。本申請課題では極性ガスとして工業的に重要な微量水分(<1ppm)を対象とし、水晶の活性表面の起源が非晶質の加工変質層であることを見出してゾルゲル反応で合成したシリカ膜により模擬し、SAWの著しい長距離伝搬が可能なボールSAWセンサに適用した場合に、これまでになく応答が高速で高感度な微量水分センサとして利用できる可能性を示した。
自由記述の分野	超音波工学、材料評価