固体電解質のイオン伝導率が誘電率と相関する点に着目し、振幅変調型AFM(AM-AFM)を用いて、ガラス電解質の局所比誘電率を計測する手法を確立した。ガラス電解質の一つであるリン酸リチウムオキシナイトライド(LiPON)を導電性基板上に成膜し、AM-AFM測定を用いてその比誘電率を計測した結果、およそ20の値が得られた。これは文献値(16-20)とほぼ一致する値である。この知見を用いて、BaTiO3-LiPONの界面近傍の比誘電率の分布を調べた結果、界面近傍にバルクとは異なる比誘電率をもつ領域が存在する可能性を見いだした。
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