2015 年度研究成果報告書

ピエゾ駆動大気遮断ホルダーによる電池材料の電子顕微鏡観察

研究課題

研究課題/領域番号	25289253
研究種目	基盤研究(B)
配分区分	一部基金
応募区分	一般
研究分野	構造・機能材料
研究機関	国立研究開発法人物質・材料研究機構
研究代表者	三石和貴国立研究開発法人物質・材料研究機構, 表界面構造・物性ユニット, 主席研究員 (40354328)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	電子顕微鏡 / 全固体2次電池
研究成果の概要	全固体2次電池材料の研究に用いるため、試料を大気にさらすことなく観察可能な、粗動機構を持つピエゾ駆動探針を2本備えた電子顕微鏡用試料ホルダーを開発した。　マイクロメーターによって駆動される粗動機構により、数百μｍの範囲で粗動することが出来、試料近傍ではピエゾ素子によって微動し、試料の任意の場所に電圧を印加する事が出来る。　低加速のArイオンミリングによって、FIBによるダメージ層を取り除く事で、リーク電流を抑える事が出来、試料からのI-Vの計測に成功した。
自由記述の分野	電子顕微鏡技術