|
テクスチャー構造と呼ばれる凹凸構造を膜表面に形成した酸化物透明導電膜を薄膜太陽電池用透明電極として採用することによる太陽電池の変換効率向上を目的として、申請者らが独自に発明した高周波重畳直流マグネトロンスパッタ成膜法を駆使して、テクスチャー構造の形状を制御して酸化亜鉛(ZnO)系透明導電膜を作製する技術を確立できた。具体的には、スパッタ成膜後の化学的エッチングによるテクスチャー構造の形成・形状制御技術及び形状を制御しつつ成膜時に直接テクスチャー構造を形成することにより、波長約400-1000nmの範囲において高いヘイズ率を実現でき、それを採用した太陽電池において変換効率の向上を実現できた。
|
