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本研究は、極低温・強磁場環境下で使用することの出来るマイクロアクチュエータを、圧電・電歪材料を駆動源として実現することを目標として、アクチュエータ材料、構造、モデル化の3点について研究を進めた。温度環境の違いによる調整の必要がないアクチュエータを実現することを目的として、ボルト締めランジュバン型振動子の構造の検討と試作を行った。非線形的な特性を考慮した振動解析によりアクチュエータ構造を決定し、室温から極低温まで予圧調整の必要がない振動子を実現した。さらに、試作した振動子を用いたアクチュエータの駆動実験により、従来困難であった室温から極低温領域まで調整なしに連続的に回転駆動を行うことに成功した。
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