2015 年度研究成果報告書

高空間分解能静電気分布モニタリング計測システムの開発

研究課題

研究課題/領域番号	25420427
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	計測工学
研究機関	国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究代表者	菊永和也国立研究開発法人産業技術総合研究所, 製造技術研究部門, 主任研究員 (10581283)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2016-03-31
キーワード	静電気分布 / 高分解能 / 振動
研究成果の概要	本研究では、まず静電荷を励振することで誘起される電界を検出することによって静電気を計測する技術を確立した。次に、多点で同時に電界を計測するために、小型電界センサを並べることによりアレイセンサを開発した。続いて、アレイセンサの各空間位置における静電気を計測するシステムを構築した。最後にこのシステムを用いてアクリル表面の静電気分布を計測した。これより空間分解能1 mmかつ短時間で静電気分布を計測するモニタリングシステムの開発に成功した。
自由記述の分野	静電気