シリコン基板製の鏡の片面にスプリットリングおよびバーからなる2種類の共振器を金蒸着によりメタマテリアル構造を作製した。もう一方の面には圧電体である酸化亜鉛薄膜を塗布し、超音波振動子を設計試作した。テラヘルツ時間領域分光により、電磁波誘起透明化現象により1.2THz付近で群速度遅延が起こっていることを確認した。また、高周波発振器により超音波振動子を励起し、鏡が400MHzで振動していることを確認した。しかしながら、THz領域での電磁波の発生は確認できていなかったため、振動数の見積とメタマテリアル表面からの電磁波発生効率について考察中である。
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