2014 年度研究成果報告書

炭化ケイ素を用いたダークマテリアル創製への挑戦

研究課題

研究課題/領域番号	25630119
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	電子・電気材料工学
研究機関	山形大学
研究代表者	成田克山形大学, 理工学研究科, 助教 (30396543)
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2015-03-31
キーワード	炭化ケイ素 / 反射率 / 透過率 / 赤外光 / 紫外-可視光 / 黒体
研究成果の概要	立方晶炭化ケイ素（3C-SiC）は屈折率が比較的高く反射率が20%もあるため、完全黒体に近い物質、ダークマテリアルにはなりえない。本研究課題で我々は、この反射率の高いSiCを用いたダークマテリアル創製に挑戦した。有機シランガスを用いた化学気相堆積法により表面が黒い多結晶SiC膜が堆積し、さらに堆積を最適化することで、紫外-可視-近赤外光領域で反射率が約6%の低反射率多結晶SiC膜の開発に成功した。
自由記述の分野	表面科学、結晶成長、半導体工学