研究課題
若手研究(B)
III族窒化物薄膜の機械特性値の正確な評価のための研究を進めた。超微小硬さ試験を行い硬度および弾性率を測定した。また、透過型電子顕微鏡内で超微小硬さ試験を行い、貫通転位と超微小硬さ試験により導入される転位の相互作用をその場観察し、超微小硬さ試験により導入される転位の伝搬に対する影響を明らかにした。透過型電子顕微鏡内外の超微小硬さ試験の結果から、薄膜の表面状態、極性、薄膜に含まれる貫通転位密度、ひずみとの相関を解明した。
転位物性
