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CMOS回路の性能を向上させる技術であるSOI ( Silicon - on - insulator ) 技術を用いて、センサと回路が一体になったピクセル検出器を開発した。ピクセル回路には前段増幅回路と波高弁別回路とカウンターが含まれている。開発上の問題となっている、センサと回路間のクロストーク低減や耐放射線性向上のために、2重SOIウエハを使用した。2重SOI層の上層を回路層とし、下層をシールド層とした。シールド層に一定電圧をかけることでクロストークが低減し、負電圧をかけることで耐放射線性が向上した。これら開発の結果、将来の実用化の目途がついた。
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