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CTスキャナなどの医療用X線画像診断はX線被曝の問題が付きまとう。X線センサーの感度を従来よりも桁違いに高くしてX線被曝線量を桁違いに抑えることで、高度で安全で様々なX線画像診断を気軽に制限なく誰もが受けることができる。本研究ではトレンチ構造型フォトダイオードを採用した次世代の直接変換型シリコンX線センサーを提案する。この提案X線センサーは高感度・高速応答・長デバイス寿命・低消費電力・高エネルギー分解能の特徴を並立する。提案X線センサーを試作し、理論限界に迫る吸収X線－電流信号変換効率を実証した。
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