| 研究課題/領域番号 |
26390113
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
天野 壮 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (50271200)
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| 研究分担者 |
宮本 修治 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (90135757)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | レーザープラズマ / 軟X線 / 水の窓 / 固体アルゴン / 高平均出力 / 微細加工 |
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| 研究成果の概要 |
「水の窓」と呼ばれる3nm帯軟Ｘ線は生体細胞観察の軟X線顕微鏡用や有機材料の微細加工光源として期待されている。この軟X線を放射して、放射光施設に代わる小型で安価なX線源として、我々は固体アルゴンをターゲットとしたレーザープラズマ軟X線源の開発を行った。市販のQスイッチNd:YAGレーザーを用いて「水の窓」軟X線で0.5Wの高平均出力を達成し、PMMAサンプルのミクロンサイズの微細加工も成功して実用的小型X線源である事を示した。
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| 自由記述の分野 |
レーザー理工学
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