ガラスやサファイアなど硬脆基板材料の超平滑加工に対して,新たに開発したメカノケミカル(MC)砥粒用ビトリファイド結合剤を用いて,硬質砥粒砥石並みの結合力をもつMC砥粒砥石,およびMC砥粒に硬質超微細砥粒を複合した複合砥粒砥石(MC複合砥粒砥石)による超仕上げを適用した.その結果,ガラスに対しては,従来の研磨加工に比べ1/5に加工時間を短縮できた.また,超硬であるサファイアに対しては,ダイヤモンド砥石による多段工程から成る超上げにより,従来ラッピングの1/4程度の加工時間で2.0 nmRaの超平滑面が得られた.
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