| 研究課題/領域番号 |
26630067
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
高橋 厚史 九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10243924)
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| 研究分担者 |
西山 貴史 九州大学, 大学院工学研究院, 助教 (80363381)
生田 竜也 九州大学, 大学院工学研究院, 技術専門職員 (70532331)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | ナノマイクロ熱工学 / 界面 / 熱プローブ |
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| 研究成果の概要 |
市販の原子間力顕微鏡用プローブの背面に白金薄膜の測温抵抗を集束イオンビームを用いて作り、さらに厚さ0.1ミクロンでPTFEをそのプローブ全体にコーティングすることで、液中で使用可能な走査型熱顕微鏡が実現可能であることを示した。実際に長さ10ミクロン幅0.5ミクロンの薄膜ヒーターを純水中にて通電状態で温度計測したところ、三次元定常熱伝導解析で得られた値と良く一致する温度情報を得ることができた。
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| 自由記述の分野 |
熱工学
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