| 研究課題/領域番号 |
26709024
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| 研究種目 |
若手研究(A)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
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研究代表者 |
河野 剛士 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (70452216)
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| 研究協力者 |
沼野 利佳 豊橋技術科学大学, 大学院工学研究科, 准教授 (30462716)
鯉田 孝和 豊橋技術科学大学, エレクトロニクス先端融合研究所, 准教授 (10455222)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | ナノデバイス / 細胞内電極 / 細胞内計測 / シリコン / MOSFET / センシングデバイス |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、既存の細胞内電極では実現不可能であった生体組織深部における細胞内電位計測を可能とする長さが100 マイクロ以上のナノプローブ電極アレイデバイスを開発することを目的とした。ナノプローブ電極は、選択的vapor-liquid-solid（VLS）結晶成長によるシリコンマイクロプローブの先端部をナノスケールに先鋭化することで製作する。本研究では、提案するナノプローブ電極の機械的特性の解析、ナノプローブアレイの集積化プロセスの確立、製作したデバイスの電気的特性を評価すると共に、マウス筋細胞およびマウス大脳皮質を用いた電気生理実験をとおして提案するデバイスによる細胞内電位計測を実証した。
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| 自由記述の分野 |
電子デバイス・電子機器
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