2002 Fiscal Year Annual Research Report
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13555019
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
永富 隆清 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (90314369)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
大堀 謙一 堀場製作所(株), 科学計測開発部, 部長(研究職)
木村 吉秀 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (70221215)
高井 義造 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30236179)
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| Keywords | ナノ薄膜 / 高輝度X線源 / 波長可変X線源 / 回転対陰極式X線源 / MCシミュレーション |
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| Research Abstract |
本年度は、モンテカルロ(MC)シミュレーションコードを用いたX線源構造の最適化を目的として、これまでに開発してきた電子線励起X線スペクトルのMCシミュレーションの評価、並びに、MCシミュレーションコードを用いたX線源構造の最適化を中心に行った。得られた成果は以下の通りである。
1.MCシミュレーションの評価
これまで開発してきたMCシミュレーションを用いてX線源構造の最適化を行うためには、これまでのCu基板上W薄膜試料だけでなく、種々の元素についてもX線スペクトルを再現できなければならない。そこで、種々の元素について、X線スペクトルの精密測定を行い、シミュレーションによりスペクトルを再現して実験結果との比較を行った。その結果、測定を行った全ての元素について、広い電子の入射エネルギーの範囲で、実験と計算により得られるスペクトルの絶対強度が10%以内で一致し、開発したMCコードがX線源構造の最適化に応用可能であることを確認した。
2.定量分析への応用
開発したMCコートにより得られるスペクトルの絶対強度を用いて、極薄膜試料の膜厚の定量測定が行えることを確認した。
2.X線源構造の最適化
開発したMCコードを用いてCu基板上W薄膜からのX線スペクトルの計算を行い、X線源の陽極構造に関して、電子の入射角、X線の取り出し角、基板上薄膜の膜厚、陽極の形状について最適化を行った。その結果、X線の発生効率及び陽極の冷却効率の向上により、X線源の高輝度化が可能であるこを明らかにした。
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Research Products
(5 results)
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[Publications] K.Obori, S.Awata, T.Yurugi, K.Araki, T.Nagatomi, Y.Kimura, Y.Takai: "Development of Monte Carlo Simulation of Generation of Continuous and Characteristic X-rays by Electron Impact"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.41 No.3A. 1616-1617 (2002)
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[Publications] K.Araki, A.Yoshioka, R.Shimizu, T.Nagatomi, S.Takahashi, Y.Nihei: "Monte Carlo Simulation of X-Ray Generation And Energy Dissipation in A W/Cu Target for Optimum Design of A High-Power X-Ray Source"Surface and Interface Analysis. Vol.33 No.5. 376-380 (2002)
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[Publications] T.Nagatomi, T.Shimiada, Y.Kimura, Y.Takai, S.Awata, T.Yurugi, K.Obori: "Monte Carlo Modeling of X-ray Generation under Electron Bombardment X-rays by Electron Impact"Proceedings of 3rd International Symposium on Atomic Level Characterization for New Materials and Devices '01. 61-64 (2002)
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[Publications] A.Yoshioka, K.Araki, R.Shimizu, T.Nagatomi, Z.-J.Ding: "Monte Carlo Simulation of X-ray Generation in W/Cu-target as Applied to Optimum Designing of High Power X-ray Source"Proceedings of 3rd International Symposium on Atomic Level Characterization for New Materials and Devices '01. 65-68 (2002)
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[Publications] T.Hibi, T.Nagatomi, Y.Kimura, Y.Takai, S.Awata, T.Yurugi, K.Obori: "Monte Carlo Study of X-ray Generation of Continuous Characteristic and Fluorescent X-ray by Electron Impact"Journal of Surface Analysis. Vol.9 No.4. A-45-A-46 (2002)
