2001 Fiscal Year Annual Research Report
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13875016
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Grant-in-Aid for Exploratory Research
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| Research Institution | Himeji Institute of Technology |
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Principal Investigator |
服部 正 姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (70326297)
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| Keywords | X線検出器 / ガス増幅 / X線イメージング / LIGA / X線リソグラフィー / マイクロファブリケーション |
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| Research Abstract |
ガス増幅型X線イメージング検出器の実証研究として、平成13年度においては、検出器諸元の決定と、それに基づく検出器の設計・製作を行なった。
1、検出器諸元の決定
ガス増幅型X線検出器の構造として、海外の他の開発プロジェクトの動向を鑑みて、ハニカム構造のガス電子増倍器を採用することにした。ハニカム構造のガス電子増倍器とは、ハニカム構造体の上下の面に電極をつけて、この電極間で放電に近い状態で電子増倍を引き起こすものである。その下に同様にハニカム構造の支持体を同時形成することによって、スペーサーを含めた形で一個の部品として取り扱うことができ、極めてアライメント精度の高いデバイスとなる。海外の動向から、長い線上のパターンの場合には、放電による損傷が、検出器の性能に大きなダメージを与えることが分かっている。この点でハニカム形状のパターンは有利であり、また、開口率と機械的強度の兼ね合いの点で丸や方眼よりも有利である。こうした構造体は、その構造が非常に単純であるにも関わらず、現在までマイクロファブリケーションの世界で実現されていないものである。
2、製作プロセス開発と設計
この構造体を実現するために、我々は従来のLIGAとは異なった積層リソグラフィプロセスを開発した。この特徴としては、(1)LIGAに対して、鍍金、モールドを必要とせず、リソグラフィだけの工程で、製品を生産できる。(2)基本的にはX線リソグラフィを用いるが、電極層を十分に薄くできる場合は紫外線も使うことができる。(3)単層のハニカムを機械的に貼り合わせる手法に対して、アライメントの精度と生産性が高い。現在、製作プロセスを開発する最終段階に到達しており、今後、ガス増幅型X線イメージング検出器として全体の設計を最適化しながら動作確認していく予定である。
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