ニオブ酸リチウム基盤上の弾性導波路を用いた微小アクチュエータ

2002 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 14655130
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: FRIEND James Robert 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (00334540)
• Keywords: 微小アクチュエータ / 弾性導波路 / ニオブ酸リチウム基盤

Research Abstract

ダイシングマシン((株)ディスコ製,DAD321)を用いて,基板に2本の溝を作り,2本の溝の間の突起を導波路とする。ダイシングマシンによる切り込み深さを180umとして,導波路の高さ180umを製作した。ダイシングマシンの刃厚によって,導波路の両側の溝の幅は150umとなっている。
モータの超小型化を目的としているため,IDTも小型である必要があり,前述したシングルモードとなる周波数帯域の上限付近10.4MHzが共振周波数となるIDTを製作した。36゜回転Y板X伝搬LiTaO3基板におけるSH-SAWの伝搬速度は4171m/sであることから,波長は400umである。これにより,電極幅,空隙はともに100umとした。また,電極の対数は20対として,鏡面仕上げした基板表面にフォトリソグラフィ法により,IDTを製作した。IDTと導波路入力端の距離は11.8mmである。導波路,IDTの大きさから,基板の大きさは16.25×50×0.5mmとした。
SH-SAWによって導波路ヘリッジモード振動を励振する振動源として共振周波数約10MHzのIDTをフォトリソグラフィ法により製作した。今後は効率のよいリッジモードの励振方法を検討する必要がある。

Research Products

• [Publications] 神長龍太, James R.Friend, 中村健太郎, 上羽貞行: "弾性リッジ導波路を用いた超音波リニアアクチュエータの試作"日本音響学会講演論文集. 1-8-9. 1029-1030 (2002)
• [Publications] 神長龍太, James R.Friend, 中村健太郎, 上羽貞行: "弾性リッジ導波路を用いた超音波リニアアクチュエータの試作"The Technical Report of the Institute of Electronics, Information, and Commnunication Engineers. US2002-78. 1-12 (2002)
• [Publications] 神長龍太, James R.Friend, 中村健太郎, 上羽貞行: "マイクロ超音波リニアアクチュエータのための微小弾性リッジ導波路の製作"日本音響学会講演論文集. 3-10-10. 1211-1212 (2003)