2005 Fiscal Year Annual Research Report
ダイヤモンドを用いた高感度紫外線センシング法の構築
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15360376
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| Research Institution | National Institute for Materials Science (NIMS) |
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Principal Investigator |
小出 康夫 独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 主席研究員 (70195650)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
神田 久生 独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, ディレクター (30343841)
渡辺 賢司 独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 主任研究員 (20343840)
小泉 聡 独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 主幹研究員 (90215153)
寥 梅勇 独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 特別研究員
ホセ アルバレッツ 独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 特別研究員
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| Keywords | ダイヤモンド / 紫外線センサー / 光伝導 / 可視光ブラインド比 / ショットキー性接合 / カーバイド / 窒化物金属 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は,4.4eV以上の遠紫外線を極めて高効率・高感度にセンシングする材料としてダイヤモンド(Eg=5.5eV)を提案するとともに,従来にない新しい深紫外線のフォトセンシング法を確立することにあった.最終年度は、これまで開発してきたWC基カーバイド金属をショットキー性電極およびオーム性電極に用いたショットキー型のフォトダイオードの性能を更に高めるとともに、ハーメチックシールを施した実用にむけた素子構造を作製するとともに、火炎センシングシステムの構築を行った。以下に主な成果をまとめる。
(1)昨年までに開発した紫外/可視光ブラインド比約6桁の性能を維持しながら、応答速度0.3秒以下に性能を向上させた太陽光ブラインド紫外光センサーの開発に成功した.これらの成果は3件の特許として出願された。
(2)これまでに開発したカーバイド電極に加えて、窒化物金属からなる電極を用いて高効率なショットキー型ダイヤモンドセンサーを開発した。これらの成果は2件の特許として出願された。
(3)実際の火災報知器用センサーに応用するために、ワイヤボンディングを含め窒素封入ハーメチックパッケージングを施した実用化デバイスを試作した。
(4)(株)アンテックとの共同研究により、ダイヤモンド紫外線センサーを用いた火災検知システムの開発に世界で初めて成功した。火災検知システムは、センサー部で検出した火災情報を赤外線通信によって迅速に警報部に送り、警報音や警報ランプを発するシステム構成となっている。
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Research Products
(15 results)
