2008 Fiscal Year Final Research Report
Selective film by molecular template method and its application on surface acoustic wave sensor
| Project/Area Number |
19560427
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Measurement engineering
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| Research Institution | Shibaura Institute of Technology |
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Principal Investigator |
NOMURA Tooru Shibaura Institute of Technology, 工学部, 教授 (50052858)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SAITOH Atushi 芝浦工業大学, 工学部, 准教授 (30280994)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | センシングデバイス / 感応膜 / SAWセンサ / SAW-ID / 簡易LB膜 |
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| Research Abstract |
SAWデバイスを利用したマルチチャネルセンサの構成とそのガスセンシングへの応用について示す。化学特にガスセンサでは、複数のセンサの応答よりガスの識別を行う。本研究では、同一基板に複数のSAW遅延線を並べ、入力には一個のドッグレッグIDTを用いたセンサアレイによるガスセンシングについて提案した。このセンサアレイと増幅器による自励発振器を構成したセンサシステムでは、自動的に温度補償が行え、チャネル間のクロストークも小さいことが分かった。また、ガスセンサに重要な感応膜の塗布に、簡易LB膜法を用いることにより、センサアレイの各チャネルの微小な部分に正確に再現性よく塗布することができた。応用では、このセンサを有機ガスの識別に適用し、いくつかのサンプルガスに対し、ユニークな応答パターンを得た。
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