| 研究課題/領域番号 |
15K13470
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
天文学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人理化学研究所 |
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研究代表者 |
海老塚 昇 国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, 研究員 (80333300)
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| 研究分担者 |
山形 豊 国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, チームリーダー (70261203)
佐々木 実 豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70282100)
青木 和光 国立天文台, TMT推進室, 准教授 (20321581)
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| 研究協力者 |
島津 武仁 東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 教授
魚本 幸 東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 研究員
梶原 健 豊田工業大学, ナノテクノロジープラットフォーム, 支援員
奥村 俊雄 豊田工業大学, ナノテクノロジープラットフォーム, 支援員
田中 壱 国立天文台, ハワイ観測所, Sr. Resident Astronomer
服部 堯 国立天文台, ハワイ観測所, Sr. Instrumentation Research Specialist
尾崎 忍 国立天文台, TMT推進室, 特任研究員
桐野 宙治 クリスタル光学, 技術開発部長
岡本 隆之 国立研究開発法人理化学研究所, 石橋極微デバイス工学研究室, 専任研究員
細畠 拓也 国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, 研究員
竹田 真宏 国立研究開発法人理化学研究所, 光量子工学研究領域, テクニカルスタッフⅠ
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2015年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | Volume grating / Echelle spectroscopy / 厳密結合波解析（RCWA） / 厳密結合波解析（RCWA）法 / 透過型回折格子 / 高次回折光 / 高分散分光 / 厚い回折格子 |
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| 研究成果の概要 |
Quasi-Bragg (QB) 回折格子として機能する高アスペクト比のVolume binary (VB) 回折格子を、シリコンのサイクルエッチング、酸化膜の形成・除去によって試作した。このシリコンのVB回折格子は可視光においても散乱が少ない極めて滑らかな光学面を持つ。
プロトタイプのReflector facet transmission (RFT) 回折格子を鋭角な頂角の回折格子の金型からレプリカ加工した。試作品の回折効率は45~50%程度であった。
30度傾けて切断したQB回折格子をプリズムおよび表面反射ミラーと貼り合わせてQB immersion 回折格子を試作して機能を検証した。
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