• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

擬火花放電プラズマCVD法による新たなDLC成膜法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21760238
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関八戸工業高等専門学校

研究代表者

鎌田 貴晴  八戸工業高等専門学校, 電気情報工学科, 助教 (50435400)

研究協力者 藤原 民也  岩手大学, 工学部, 教授 (70042207)
研究期間 (年度) 2009 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
キーワード擬火花放電 / プラズマジェット / イオン密度 / ダブルプローブ / DLC薄膜 / 擬火花放電プラズマジェット / 高密度プラズマ / プラズマ計測
研究概要

本研究では低気圧大電流放電である擬火花放電プラズマジェットをプラズマ源に用いた新たなダイヤモンドライクカーボン薄膜作製装置の開発を行った。プラズマジェット中のイオン密度は10^<20>m^<-3>オーダーであり、高密度なプラズマが半径50mm内に撃ち出されていることがわかった。プラズマジェットの撃ち出しは陽極孔、電極間距離、放電電流、ガス流に依存するが、放電電流による電磁力の効果は本実験条件では確認できなかった。成膜実験を行った結果、シリコン基板上への膜の堆積に成功した。

報告書

(3件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (4件)

  • [雑誌論文] 擬火花放電プラズマジェット電極の幾何学的形状がイオン密度に及ぼす影響2009

    • 著者名/発表者名
      鎌田貴晴, 渡部政行, 藤原民也
    • 雑誌名

      放電研究 第52巻, 第2号

      ページ: 51-55

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 擬火花放電プラズマジェット電極の幾何学的形状がイオン密度に及ぼす影響2009

    • 著者名/発表者名
      鎌田貴晴、渡部政行、藤原民也
    • 雑誌名

      放電研究 52

      ページ: 51-55

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 擬火花放電プラズマジェットの基礎特性とDLC膜作製2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田貴晴、渡部政行、藤原民也
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 第27回年会
    • 発表場所
      北海道大学学術交流会館
    • 年月日
      2010-12-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 擬火花放電プラズマジェットの基礎特性とDLC膜作製2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田貴晴, 渡部政行, 藤原民也
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第27回年会
    • 発表場所
      北海道大学学術交流会館
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] An Effect for Diameter of Anode Hole on a Pseudo-spark Discharge Plasma Jet and the Deposition of DLC Film2009

    • 著者名/発表者名
      T.Kamada, M.Watanabe, T.Fujiwara
    • 学会等名
      The 7th General Scientific Assembly of the Asia Plasma and Fusion Association(APFA2009)and the Asia-Pacific Plasma Theory Conference(APPTC2009)
    • 発表場所
      アウガ(青森市)
    • 年月日
      2009-10-27
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] An Effect for Diameter of Anode Hole on a Pseudo-spark Discharge Plasma Jet and the Deposition of DLC film2009

    • 著者名/発表者名
      T.Kamada, M.Watanabe, T.Fujiwara
    • 学会等名
      The 7th General Scientific Assembly of the Asia Plasma and Fusion Association (APFA2009) and the Asia-Pacific Plasma Theory Conference (APPTC2009)
    • 発表場所
      Aomori
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi