研究課題
基盤研究(B)
LSIテストでは、活性化パスの遅延超過に起因する歩留まり低下、及び、活性化パスの遅延不足に起因する微小遅延欠陥検出不能による品質低下は深刻化してきている。本研究では、活性化パス近傍の局所電力を必要に応じて増減させることによって、各活性化パスにおける遅延超過や遅延不足を同時に解決するという、電力調整型テスト方式を世界に先駆けて確立した。この方式は、半導体産業の生命線である歩留まりと品質の向上に貢献すると期待できる。
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