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ウエハー接合を援用した高品質エピグラフェンと新原理に基づく高周波デバイス

研究課題

研究課題/領域番号 15K13353
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関東北大学

研究代表者

吹留 博一  東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (10342841)

研究分担者 末光 眞希  東北大学, 電気通信研究所, 教授 (00134057)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2016年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワードグラフェン / 結晶成長 / 電界効果トランジスタ / 接合 / トランジスタ / 高品質SiC単結晶薄膜
研究成果の概要

優れた物性を有するグラフェンは、テラヘルツ帯で動作するトランジスタを実現する。私は、SiC基板から転写・接合によるSiC単結晶薄膜作製技術を用いて、デバイス応用に適した基板上への高品質グラフェンの成長に成功した。このグラフェンが、直線的なバンド分散を有していることを確認し、更には、キャリア移動度が高いことを実証した。このグラフェンを用いたトランジスタの試作に成功し、高速電子デバイス応用に適していることを示した。

報告書

(3件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2016 2015 その他

すべて 学会発表 (3件) (うち招待講演 2件) 図書 (1件) 備考 (1件) 産業財産権 (5件)

  • [学会発表] 25.オペランド顕微分光を用いた電子状態の変調の可視化による先端デバイス開発2016

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      理化学研究所放射光連携ワークショップ「空間階層構造の可視化と物質科学研究」
    • 発表場所
      JPタワー(東京都千代田区)
    • 年月日
      2016-02-16
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ハイブリッドSiC基板を用いたSi終端SiC単結晶薄膜上高品質グラフェン成長2016

    • 著者名/発表者名
      遠藤 則史、秋山 昌次、田島 圭一郎、末光 眞希、小西 繁、茂木 弘、川合 信、久保田 芳宏、堀場 弘司、組頭 広志、吹留 博一
    • 学会等名
      第77会応用物理学会講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ、新潟市
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 二次元原子薄膜は使えるのか?2016

    • 著者名/発表者名
      吹留博一
    • 学会等名
      セミコンファレンス
    • 発表場所
      浅虫温泉、青森市
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [図書] すごいぞ! 身のまわりの表面科学 ツルツル、ピカピカ、ザラザラの不思議2015

    • 著者名/発表者名
      吹留博一、雨宮健太、猪飼篤、池田太一、板倉明子、魚津吉弘、打越哲郎、岡真一郎、尾嶋正治、小幡章、加納眞、木口学、久保田純、近藤寛、齋藤彰、須崎友文、高井まどか、竹内俊文、富重圭一、庭野道夫
    • 総ページ数
      272
    • 出版者
      講談社
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [備考] 末光・吹留研究室ホームページ

    • URL

      http://www.suemitsu.riec.tohoku.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置2016

    • 発明者名
      末光真希、吹留博一、舘野泰範、岡田政也
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学、住友電気工業株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-242417
    • 出願年月日
      2016-12-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 積層体および電子素子2016

    • 発明者名
      末光真希、吹留博一、舘野泰範、岡田政也
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学、住友電気工業株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-234445
    • 出願年月日
      2016-12-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] グラフェントランジスタおよびその製造方法2016

    • 発明者名
      末光真希、吹留博一、舘野泰範、岡田政也
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学、住友電気工業株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-234207
    • 出願年月日
      2016-12-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置2016

    • 発明者名
      末光真希、吹留博一、舘野泰範、岡田政也
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学、住友電気工業株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-217291
    • 出願年月日
      2016-11-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] SiC構造体およびその製造方法ならびに半導体装置2016

    • 発明者名
      末光真希、吹留博一、長澤弘幸、舘野泰範
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学、住友電気工業株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-172296
    • 出願年月日
      2016-09-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2018-03-22  

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