| 研究課題/領域番号 |
19101005
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
江刺 正喜 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 教授 (20108468)
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| 研究分担者 |
小野 崇人 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90282095)
田中 秀治 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00312611)
戸津 健太郎 東北大学, マイクロシステム融合研究センター, 准教授 (60374956)
川合 祐輔 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20451536)
宮下 英俊 東北大学, マイクロシステム融合研究センター, 助教 (00401258)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
110,240千円 (直接経費: 84,800千円、間接経費: 25,440千円)
2011年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2010年度: 13,390千円 (直接経費: 10,300千円、間接経費: 3,090千円)
2009年度: 25,220千円 (直接経費: 19,400千円、間接経費: 5,820千円)
2008年度: 31,720千円 (直接経費: 24,400千円、間接経費: 7,320千円)
2007年度: 35,100千円 (直接経費: 27,000千円、間接経費: 8,100千円)
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| キーワード | MEMS / 電子描画装置 / 並列電子線描画 / 光制御電子源 / セルフアセンブル / マスクレス露光 / カーボンナノチューブ / 電子線描画 / マイクロマシニング / 電子線描画装置 / ダイアモンド / MEHS |
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| 研究概要 |
本研究では超並列電子線直接描画に関する要素技術として、カーボンナノチューブ(CNT)を先端に成長させた電子源の作製方法、光によるスイッチングが可能な微小冷陰極、微小ステージの開発、静電レンズの新しい作製法の開発、などをおこなった。また、これらを組み合わせ、電子ビームをスキャンせず、ビームをスイッチングさせながらステージをスキャンさせる方式の超並列電子線描画システムの構築を試みた。
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