| 研究課題/領域番号 |
20360067
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 富山大学 |
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研究代表者 |
森田 昇 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660)
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| 研究分担者 |
山田 茂 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714)
高野 登 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
9,750千円 (直接経費: 7,500千円、間接経費: 2,250千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2008年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
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| キーワード | 多機能ダイヤモンド工具 / マイクロ加工 / ナノ加工 / 多機能型ダイヤモンド工具 / 極微細加工 / 集束イオンビーム / 選択成長 |
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| 研究概要 |
本研究は、各種の極微細加工用の高精度多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用化を目的としている。まず、高速にダイヤモンドを合成できる装置を設計・試作し、緻密なダイヤモンドチップを得ることができた。つぎにこのチップを精度よくシャンクに装着するための装置を試作し、高精度のダイヤモンドツールを作製することができた。このツールを用いて加工実験を行い、数μmスケールの微細加工が可能であることを検証した。
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